中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655833 を販売中

KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、半導体ウェーハの特性評価に使用されるウェーハ試験および計測機器です。SEM（走査型電子顕微鏡）による二次電子・背面散乱による地形感知、ACおよびDC電流システムの走査による電気的評価と欠陥診断を行う。SEMシステムには、高スループット、低用量マッピングのための7700ES Rapid Scannerが含まれています。精密な、高分解能の測定のための7700FSの良い走査器；そしてローカル容量の測定のための7700SDスキャン容量顕微鏡（SCM）。AC/DCユニットには、高性能な電気測定用のAC/DC測定チャネル、データセットを分析するためのAC/DC分析マシンが含まれています。このツールは、65nm以下の最小CDを持つ高度なノードアプリケーションに特に適しています。KLA 7700サーフスキャンは、優れた測定信頼性と性能を低コストで提供できます。AC/DCアセットは、周波数ドメインアルゴリズムを使用して、超高速デバイスを測定し、他のシステムで見逃すことのできる重大な欠陥を検出して特徴付けることができます。ESおよびFSスキャナは、高速スキャン速度と高いダイナミックレンジを備えており、3Dトポグラフィおよび位相変化構造の正確な測定と欠陥特性評価を可能にします。SD SCMの統合コントローラと16ビットA/Dコンバータは、信号サンプリングと100ナノメートルの測定精度を提供します。TENCOR 7700 Surfscanはまた、データを分析および視覚化するための強力なソフトウェアスイートを提供します。Surfview TSRソフトウェアを使用すると、データを迅速かつ簡単に、かつ正確に分析し、ダイバイ・ダイ試験結果を表示できます。FAStレビューソフトウェアは、ツールの事前構成とデフォルト設定を提供し、オペレータが特定のアプリケーションの自動セットアップを実行できるようにします。Smart Reviewソフトウェアは、Windowsベースのアプリケーションで、多数のウェーハの欠陥をすばやく見つけるためのユーザーフレンドリーな環境を提供します。要約すると、7700 Surfscanは、優れた測定信頼性と性能を提供することができる高度なウェハテストおよび計測モデルです。その汎用性の高い一連のインストゥルメントとソフトウェアは、高度なノードアプリケーションに最適です。