中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293655831 を販売中

KLA / TENCOR 7700 Surfscan
ID: 293655831
ウェーハサイズ: 6"
Particle inspection system, 6".
KLA/TENCOR 7700 Surfscanは、高精度のハイスループット非接触ウェーハ測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。さまざまなドーピングレベル、材料、形状のウェーハを測定および検査するために使用されます。このシステムは、高精度スキャンオプティクス、高精細アクティブセンシングユニット、および強力なリアルタイムデータ取得および分析パッケージで構成されています。これら3つの統合コンポーネントが連携して、さまざまなドーピングレベル、材料、形状のウェーハを迅速かつ正確に測定および検査します。高忠実度スキャン光学系は、1。25 µradの角度分解能を提供し、視野が広がり、画像の明瞭度と精度が向上します。このマシンは、急斜面プロファイリング(SSU)、臨界寸法(CD)、ピッチ測定など、ウェーハの重要な領域から正確な測定を得るように設計されています。統合されたアクティブセンシングツールにより、アセットはリアルタイムで欠陥を検出および分類することができ、従来の手動検査よりも正確でサイクルタイムがはるかに速くなります。モデルのアルゴリズムは各ウェーハの特性に合わせて調整され、検出効率を最大限に高めます。この高性能センシング装置は、非常に小さな欠陥に対して非常に正確であるため、さまざまな製造プロセスに適しています。最後に、強力なデータ収集および分析パッケージは、手動データ解釈なしにウェーハライン幅、欠陥サイズ、およびその他の複雑な情報に関連する詳細な結果を提供します。この洗練されたソフトウェアパッケージは、ミリ秒以内に定量的な結果をレンダリングすることができ、表面計測アプリケーションにタイムリーで継続的な情報の流れを与えます。全体として、KLA 7700 Surfscanは革新的で信頼性の高いウェハテストおよび計測システムです。最も要求の厳しいウエハ特性に対応できるように設計されており、幅広い業界向けに高精度な測定と検査を提供します。統合ユニットはユーザーフレンドリーであり、重要なウェーハ機能とその欠陥の詳細な分析を提供します。これはすべて、効果的なウェーハテストと計測のための正確で強力なツールを業界に提供するために一緒に来ます。
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