中古 KLA / TENCOR 7700 Surfscan #293592610 を販売中

KLA/TENCOR 7700サーフスキャンは、高性能ウエハテストおよび計測機器です。強力な光学顕微鏡ステージを備え、半導体ウェーハや基板の表面特性を測定・分析することができます。このシステムは、ルーチンおよび複雑な特性評価アプリケーションに強力で信頼性の高い正確な結果を提供することができます。Surfscan 7700は、デュアルTMS200画像処理および画像解析プロセッサを搭載しています。高性能8 「x 8」チルト変換ステージと4レベルの自動レーザーデスクユニットを備えています。また、精密な垂直調整と最大10ミクロンの精密な測定範囲を可能にする高感度のモーター式Z-フォーカスマシンを備えています。サーフスキャン7700は、CD、均一性、トレーサビリティ、プロファイル測定など、幅広いウェハメトロジー機能を提供します。また、表面粗さ、平均高さ、波長、ステップ高さ、マイクロトレンチ、セトリング、弓などの歴史的および動的パラメータを定量的に測定することもできます。このツールは、動的偏光プラットフォーム、斜角照明器、人工欠陥発生器、ダークフィールド照明器など、高度な光学アクセサリの配列と互換性があります。また、独自のライトストライプ機能を備えており、視野内の照明の均一性をさらに高めています。ウェーハ計測機能に加えて、サーフスキャン7700はウェーハ欠陥解析機能も提供します。粒子欠陥、構造欠陥、界面欠陥など、さまざまな非表示の欠陥を検出できます。そのハイエンドセンサーとスキャンシステムの助けを借りて、それは正確に検出し、200nm未満の粒子欠陥をカウントすることができます。また、Surfscan 7700には、高度なフィードバック制御アセットが組み込まれており、モデルは、最適なイメージング性能と精度を維持するために、変化する環境条件に動的に適応することができます。さらに、コンパクトな設計により、様々なラボセットアップに簡単に設置できます。要約すると、KLA 7700 Surfscanは、ウェーハ表面の特性評価、ウェーハ欠陥解析、および環境フィードバック制御に使用できる高性能ウェーハ試験および計測機器です。これは、高度な機能、優れた測定精度と再現性、簡単なインストール、優れたイメージング性能の広い範囲を提供しています。