中古 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #9265522 を販売中

KLA/TENCOR 7600Mサーフスキャン装置は、生産レベルの使用に適した最先端のウェーハ試験および計測システムです。高度なマルチゾーンパターンイメージセンシング技術を搭載し、高いスループットと正確な結果を提供します。このユニットは、半導体製造、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクスデバイス産業に不可欠なプロセス制御ニーズに対応します。KLA 7600M Surfscanの設計は非常にユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、簡単で高速なウェハテストと計測操作を可能にします。このマシンには、欠陥位置、サイズ、形状、およびその他の機能の正確な決定を保証するデュアルレーザパターンイメージセンシングモジュールが装備されています。また、標準の自動光学オートフォーカス機能と、ウェーハ上の複雑なフィーチャーの超高解像度イメージをキャプチャするための三次元レリーフツールも組み込まれています。TENCOR 7600M Surfscanは、最大直径8インチまでの幅広いウェーハに対応するように設計されており、専用の厚くて薄いウェーハセンサー、単一素子および多要素フォーカスモデル、およびウェーハ表面の高速スキャンを容易にするガルバノメーターを備えています。さらに、この装置は一度に最大8つのウェーハをスキャンすることができ、スループットが向上します。システムには、さまざまな欠陥タイプの手動レビュー用の専用ソフトウェアを備えた欠陥レビューステーションが内蔵されています。また、故障したウェーハの迅速なセットアップと再処理のためのオプションのユニットアーキテクチャも提供しています。これにより、欠陥をすぐに修正できない場合、ウェーハが再処理されないようにします。さらに、その埋め込み計測ソフトウェアは、正確な非接触ウェーハ表面測定を行うことができます。要約すると、7600M Surfscanはウェーハテストおよび計測機械であり、マニュアルおよび自動検査用の欠陥レビューおよび計測ソフトウェアを含む、正確で高速なウェーハテストおよび計測操作を可能にする包括的な機能を提供します。強力なパターンイメージセンシングモジュール、自動光学などの機能を備えたこのツールは、高いスループットと信頼性の高い結果を保証します。