中古 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293639668 を販売中

KLA/TENCOR 7600M Surfscanは、半導体ウェーハ製造用に設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体メーカーは、ウェーハ表面に堆積した材料の物理的および化学的特性を含む、より正確で完全な測定を提供することにより、全体的な歩留まりと製品品質を向上させるために設計されています。Surfscan 7600Mには、高度なウェハレベルのイメージングシステムと高度な計測サブシステムという2つの主要コンポーネントがあります。ウェハレベルイメージングユニットは、5ミクロンの解像度で画像をキャプチャし、粒子や欠陥を1ナノメートルまで検出することができます。また、粒度、表面粗さ、汚染レベルなど、幅広いウエハ表面特性を読み取り、分析することができます。Surfscan 7600Mの高度な計測サブシステムには、高度な干渉計モジュール、ブロードバンド楕円計測機、およびダイツウェーハスキャンステーションが含まれています。干渉計モジュールは、0。25ナノメートルの分解能でサンプルの地形を3次元で測定することができます。ブロードバンド楕円測定ツールは、0。5ナノメートルの分解能でサンプルの光学特性を測定することができ、Die-to-Waferスキャンステーションは0。1ナノメートルまでの精度でサンプルのサイズ、形状、向きを測定することができます。Surfscan 7600Mには、最新の半導体製造ラインに簡単に統合できる高度な機能も多数搭載されています。ウェーハをモデルに合わせて自動アライメントすることで、正確な測定が可能です。また、最大24種類のウェーハを検出して認識できる高度なウェーハ認識装置を備えています。最後に、カスタマイズされた分析、データ管理、レポート機能を提供する完全なソフトウェアが付属しています。KLA 7600M Surfscanは、半導体メーカーに信頼性の高い正確なウェーハ表面測定を提供する高度なウェーハ試験および計測システムです。その最先端のイメージングと計測機能は、さまざまな高度な機能と組み合わせて、ウェーハの歩留まりと製品品質を向上させるための貴重なツールとなります。