中古 KLA / TENCOR 7600M Surfscan #293626880 を販売中

ID: 293626880
ヴィンテージ: 1994
Inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR 7600M Surfscanは、半導体業界のさまざまなアプリケーション向けに設計された主要なウェーハ試験および計測機器です。トポグラフィ、粗さ、欠陥、オーバーレイ、クリティカル寸法(CD)など、半導体ウェーハの幅広い属性を測定、分析、検査できます。このシステムは、高解像度イメージング、自動化された画像解析、詳細な欠陥リストなど、さまざまなソフトウェアおよびハードウェア機能を提供し、ユーザーがウェーハプロセス制御で迅速かつ正確な意思決定を行うことができます。KLA 7600M Surfscanの主なコンポーネントは、ユニットコントロールモジュール(SCM)、テストヘッド、ビジョンユニット、モーションマシンです。SCMは、ツールを制御するために使用されるソフトウェアとハードウェアコンポーネントで構成されています。外部テストシステムやデータ処理システムとの接続が可能で、ユーザーはテスト結果を転送してアーカイブすることができます。テストヘッドは、半導体ウェーハ上の欠陥のイメージングと検出を担当するハードウェアコンポーネントです。それは接触と非接触イメージングの両方を可能にするために2つのカメラで動作します。ビジョンユニットは、低倍率画像の解像度を向上させ、パターン認識や欠陥検出に使用されます。モーションアセットは、正確なイメージングを可能にするウェーハ表面の位置決めと制御を提供します。TENCOR 7600M Surfscanは、シリコン、ガラス、様々なポリマー表面などの材料から作られたウェーハを分析することができます。独自のイメージング技術、イメージステッチ機能、および強度キャリブレーションにより、ユーザーはオペレータの介入なしで優れた精度と精度を達成できます。このモデルは、効率的なソートのための分類器ベースの欠陥検出や、重要なプロセスパラメータを識別するための機能認識モジュールなど、欠陥検出と制御のための高度なアプリケーションを備えています。また、特定の顧客の要求に合わせてテストをカスタマイズするためのさまざまな品質検査構成ツールもあります。さらに、さまざまな安全測定機能と環境保護機能を備えています。7600M Surfscanは、幅広いアプリケーションで高精度な結果を提供する信頼性と汎用性の高いウェーハテストおよび計測システムです。SCM、テストヘッド、ビジョンユニット、モーションマシンなどの先進的で効率的なユニットコンポーネントが組み合わさり、ウェハプロセス制御のための包括的で正確なソリューションを提供します。このツールを使用すると、ユーザーは優れた精度と精度を達成し、ウェーハテストプロセスを自動化し、コストを削減できます。
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