中古 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293747974 を販売中

KLA/TENCOR 7600サーフスキャンマシンは、洗練されたウェーハ試験および計測機器です。半導体製造用に特別に設計されたこのマシンは、半導体ウェーハの潜在的な欠陥をサブミクロンレベルで検出および分析できる高解像度の非接触2Dマッピング検査を提供します。本機は、高度な光学文字認識（OCR）技術を活用し、さまざまなウェーハ表面を検出します。このシステムは、高スループット、高解像度検査、高精度の欠陥認識、広い視野、短いサイクルタイム、およびユーザーフレンドリーなWindows NT環境などの機能を提供します。KLA 7600サーフスキャンユニットは、入力カセットからウェーハを取得し、ウェーハハンドリングステーションに配置するピックアンドプレースロボットから始まります。ウェーハはスマートスティグメーターアライメントトンネルによって検査され、表面の地形を正確に測定してウェーハを試験板に正確に配置します。次に、エアスライドがウェーハを測定面に移動させ、機械検査を行います。サブミクロンスケールのウェーハ欠陥の検出・測定には、高感度・低ノイズ光検出器を採用しています。機械の高度なOCR技術と組み込みアルゴリズムは、優れた検出精度を提供し、臨界欠陥と臨界欠陥を正確に区別します。検出のために小さすぎるか複雑であることが判明した欠陥は「、ツールボックス」でマークしてさらに確認することができます。高解像度イメージングは、このツールの4つの高速ラインオブサイトスキャンヘッドによって実行されます。スキャンヘッドは、最大50nmの垂直分解能で最大4行のデータを提供できます。これらのスキャンヘッドは、最大6.5kHzスキャンレートでウェーハの表面を追跡できます。最後に、TENCOR 7600 Surfscanには、シンプルなグラフィカルディスプレイでテスト結果を表示できる直感的なソフトウェアが装備されています。すべての測定データはオンサイトに保存され、エクスポートまたは転送することができます。7600 Surfscanは効率的で信頼性の高いウェーハテストと計測資産です。最先端の検査技術と直感的なユーザーインターフェースを組み合わせることで、あらゆる半導体ウェーハ製造業務に最適です。