中古 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293667456 を販売中

ID: 293667456
ヴィンテージ: 1994
Wafer inspection system 1994 vintage.
KLA/TENCOR 7600サーフスキャン装置は、複雑な半導体ウェーハの検査と特性評価を可能にするように設計された最先端のウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、幅広い用途で高精度な測定を保証する高度な自動インラインプロセスコントロールです。高度なイメージング技術とソフトウェアを使用して、正確で直感的な測定と結果を提供します。KLA 7600 Surfscanには、レーザー技術を使用した高速で高解像度の2Dイメージングマシンが搭載されています。このイメージングツールは、オプションの動的画像取得アセットを使用して、静的プロセスと動的プロセスの両方の分析を実行することもできます。さらに、色、円、粒度、コントラスト、厚さなどの幅広いイメージングパラメータを測定できます。TENCOR 7600 Surfscanモデルには、CD、 CD直線性、OPC、 O/L、 dE、マスクからマスクへのパターン、3Dプロファイル、ロードマップトグラフなど、幅広い特性を測定できる高精度のCCDベースの計測機器も含まれています。その他の機能には、直感的でインタラクティブなユーザーインターフェイスがあり、ユーザーは結果をすばやく簡単に表示できます。7600サーフスキャンシステムは、自動サンプルハンドリングや画像ステッチなど、特定のプロセス要件を満たすさまざまなオプションで構成できます。さらに、他のKLA計測能力と統合して、強力なインラインプロセス制御および計測システムを作成できます。全体として、KLA/TENCOR 7600サーフスキャンユニットは、ウェーハの検査および特性評価に理想的なデバイスであり、測定、イメージング、および分析タスクにおいて優れた精度と性能を提供します。高解像度のイメージング機能と計測機能を備え、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、最も複雑なタスクでも簡単に使用できます。
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