中古 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293662763 を販売中

KLA/TENCOR 7600サーフスキャンは、ウェーハおよび誘電面のプロービングおよび表面特性評価に使用される最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、表面平坦度、粒子数、臨界寸法測定などの表面の地形特性を正確に評価できる独自の干渉測定技術に基づいています。KLA 7600 Surfscanは、典型的な半導体製造環境でのプロセス制御およびインライン検査用に設計されています。低消費電力を特長とし、ウェーハ表面トポロジや欠陥の測定に幅広い用途に展開できます。この装置は非接触モードで動作し、さまざまな誘電面をプローブして画像化することができます。高精度な地形測定により、ステップハイト、オーバーハング、トレンチ、溝などの表面特性の微細な変化を検出できます。このユニットには、粒度や分布、線幅、面粗さの低減などの重要な欠陥特性の決定を容易にする高度な分析ツールが装備されています。また、統合されたレポート機能を備えており、経時的なプロセスと複数のウェーハ間の比較を容易に行うことができます。さらに、TENCOR 7600 Surfscanは、熱酸化物測定システムなどの他のプロセス制御システムに接続することができ、測定プロセスをより大きなプロセス制御ワークフローに統合することができます。この機器には、0.45µm解像度の高解像度CCD/CMOSセンサーが含まれています。これにより、表面解析の最高レベルの精度と再現性が保証されます。また、デジタル信号処理と12ビット以上の解像度を利用して、優れたドリフト安定性とパフォーマンスを提供します。7600 Surfscanは自動スキャン機能を備えており、複数のウェーハを迅速かつ簡単に処理できます。これは、大量のウェーハを迅速かつ業界標準に従って分析する必要がある生産アプリケーションで特に有用です。KLA/TENCOR 7600 Surfscanは信頼性が高く、使いやすいウェハテストおよび計測機で、業界をリードする測定精度と再現性をユーザーに提供します。その高度な機能と機能により、プロセス制御とインラインテストが迅速かつ効率的に実行され、高いレベルのデバイスの歩留まりと品質が保証されます。