中古 KLA / TENCOR 7600 Surfscan #293658685 を販売中

KLA/TENCOR 7600 Surfscanは、半導体業界のニーズを満たすように特別に設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA 7600 Surfscanには、高解像度ウェーハ検査、3D深度測定、半導体製造プロセスのリソグラフィ制御などの先進的な光学システムが搭載されています。TENCOR 7600 Surfscanの高度な光学ユニットは、0。35のNAと最大4mmの広い視野（FOV）を備えています。これにより、より高いウェーハ速度でも、高い解像度と精度で欠陥を検出することができます。さらに、光学機器は、高精度の3D非接触計用の統合レーザー干渉計と組み合わせることができます。これにより、地形、欠陥高さ、ウェーハ平坦度測定などのウェーハの包括的な測定が可能になります。7600 Surfscanは、KLA独自のHS-PS技術を使用して、欠陥検出、認識、分類の自動化もサポートします。この技術は、パターン認識アルゴリズムを使用して、粒子、エッチング異常、構造およびサブサーフェスの欠陥を区別します。KLA/TENCOR 7600サーフスキャンの計測ツールは、最高の精度と再現性を提供するように設計されています。高解像度RGB検出器、調整可能なビーム角、高コントラストカラーフィルタを使用して、さまざまな洗練されたウェーハ測定と分析を実行します。このアセットは、ボイド、ピット、突起、深度バリエーション、グラデーションなど、複数のレイヤーと欠陥タイプを検出することもできます。KLA 7600 Surfscanは、ウェーハ処理のための優れた稼働時間と迅速なターンアラウンドタイムを提供します。高精度のウェーハハンドリングモデル、制御コンポーネント、ソフトウェア、強力なオートメーションプラットフォームなど、最先端の技術で設計されています。直径200mmまでのウェーハ検査が可能で、1時間に最大8個のウェーハを加工できます。全体として、TENCOR 7600 Surfscanは、ウェハテストと計測のための高度なツールです。専門の光学機器と統合レーザー干渉計により、優れた欠陥検出、3D非接触計測、および自動欠陥分類を提供します。7600 Surfscanは、製造プロセスに精度と信頼性を必要とする半導体メーカーにとって貴重なツールです。