中古 KLA / TENCOR 7000 Surfscan #9037841 を販売中

KLA/TENCOR 7000サーフスキャンは、高度なオートメーションおよび計測機能を提供するウェーハテストおよび計測機器です。半導体デバイスの再現性とスループット向上を実現するよう設計されています。このシステムは、集積回路（IC）ウェハの線幅、オーバーレイ、CDなどの重要なパラメータを高精度かつ正確に測定するために使用されます。それは有効な操作および容易な改善のためのモジュラー設計の完全に自動化された単位です。これは、ウェーハをイメージングするためのCCDセンサー、計測用のメインフレーム、ウェーハを正確にアライメントするためのロボット搬送機で構成されています。CCDセンサーには、8µmの3Dプロファイリングの最新技術が含まれています。また、対策の正しい照明を保証する虹彩照明ツールが装備されています。KLA 7000 Surfscanは、シングルチップ、マルチダイ、バンプ構造、最大レイヤー40の幅広いウェーハ測定を提供します。3DナノサーフメトロロジーとIBISテストキーのクラスタを1つの構成可能な資産に統合します。これにより、大量の製造ラインでのプロセス制御と故障検出が可能になります。高速で信頼性の高いメトロールキャリブレーションにより、柔軟性と高いスループットが要求される生産ラインに最適です。TENCOR 7000 Surfscanは拡張性が高く、従来技術と新興技術をカバーする複数のテストモードを備えています。in-situ OTPまたはOverdriveテストなどのさまざまなオプションを使用して、さまざまなロットレベルで電力収率を測定できます。また、semireflectiveやconcave opticsなどの複数のオーバーレイおよび検査光学にも対応しています。全体として、7000 Surfscanは、半導体製造アプリケーション向けの包括的なウェーハ試験および計測機器です。高い精度と再現性、高いスループット、柔軟性、拡張性を提供します。モジュラー設計により、既存の機器との統合が容易になり、高度な計測機能により、生産ラインを最新かつ信頼性の高い状態に保つことができます。