中古 KLA / TENCOR 7000 / 7200 SURFSCAN #9100001 を販売中

KLA/TENCOR 7000/7200 SURFSCANは、正確で効率的で信頼性の高いウェーハ測定を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、大量生産の厳しい要件に適した高レベルのスループットと精度を提供します。このユニットは、ウェーハフィルムの厚さ、表面粗さ、電気特性など、さまざまなパラメータを測定するために使用できます。ウェーハテストに必要な精度と精度を提供するために最適化された慎重に設計された光学ツールを搭載しています。このアセットは、モデルがウェーハ全体またはウェーハの複数の領域を一度にカバーできるように設定された複数のスキャンステーションで構成されています。この装置には、試験結果やその他のデータを格納するための統合されたデータロギングステーションもあります。このシステムには、さまざまな種類のウェーハテスト用のアクセサリーが含まれています。これらには、ビームコントローラ、減衰器、および検出器の範囲が含まれます。ビームコントローラは、ウェーハ試験に必要な精度と精度を提供するために使用されるレーザービームを制御するために使用されます。減衰器は検出器に達する光強度を減らすのに使用されて精密な測定が取られるようにします。検出器は、ウェーハから反射された光を受信し、分析するために使用されます。このユニットは、反射率、透過率、散乱測定など、ウェーハの光学特性試験を含むさまざまな種類の試験を実行することができます。この機械は、適切なプローブとペアリングすると、抵抗などの電気特性を測定することもできます。新しいKLA 7000/7200 SURFSCANツールは、業界標準の品質要件に準拠した測定を実行できます。さらに、異なるウェーハテストによって生成されたデータを分析し、グラフまたはチャート形式で表示する高度なソフトウェアを提供します。ソフトウェアはさらに分析に使用できる詳細なレポートを提供することもできます。これは、実験室と生産環境の両方での使用に適しており、既存の生産計算に容易に統合されています。全体として、TENCOR 7000/7200 SURFSCANはウェハテストと計測に最適なモデルです。優れたウェーハテスト精度とパフォーマンスを提供し、データを分析して詳細なレポートを作成できる高度なソフトウェアを組み込んでいます。装置は実験室からの生産へのあらゆる環境の使用のために適しています。