中古 KLA / TENCOR 6420 #293656103 を販売中

KLA/TENCOR 6420は、最大8つのウェーハを並列に分析できる高度なウェーハ試験および計測機器です。光学干渉計、共焦点顕微鏡、その他のイメージング技術を組み合わせた超高解像度の製品です。このシステムは、1つのデバイスまたは1つのウエハ上の複数の構造の複数のパラメータをわずか数分で高精度で測定できます。ウェハテストおよび計測ユニットには、表面形状と光学薄膜厚の両方を測定する高精度の3次元干渉計が含まれています。このマシンはまた、ウェーハ上に存在する可能性のあるさまざまな構造を分析するための極めて柔軟性を提供するデュアル検出器を備えています。抵抗、臨界寸法の厚さなどの特徴を測定できます。また、KLA 6420に搭載されたツールは、複数の寸法の構造、電気、およびリソグラフィの欠陥フィーチャーを識別するのに役立つ強力なデータ分析機能を備えています。レイヤーハイトとサイドウォールの角度情報の抽出、ピークバレー解析、曲率と粗さの計算も可能です。また、パルス同期検出技術を搭載しており、さまざまな構造から複数の地形測定パラメータを同時に取得することができます。また、TENCOR 6420は高度なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、データ取得プロセスを簡素化します。測定したデータ、グラフ、画像を表示しながら、複数のウェハテストを同時に実行できます。このツールは、CMP （Chemical Mechanical Polishing）マップの生成用ソフトウェアなど、さまざまなソフトウェアパッケージも提供しています。パワフルで汎用性の高い6420は、複数のテストパラメータにわたって正確で信頼性の高いデータを提供するラインウェーハテストおよび計測資産のトップであり、生産エンジニアとR&D担当者がデバイスまたは構造欠陥を簡単に迅速に識別できます。