中古 KLA / TENCOR 6420 #293609510 を販売中

KLA/TENCOR 6420は、ウェーハ表面全体にわたって完全な非接触次元検査を行い、精度を向上させるために設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、大量生産性能に最適化され、最新のウェーハ径をサポートします。独自の校正済みイメージング検出器を備えており、真のインライントポグラフィックイメージングを提供し、高精度のプロセス歩留まり解析を可能にします。KLA 6420は、設置とメンテナンスを簡素化するモジュラー設計で製造されています。堅牢なシングルサイドアクセスプラットフォームを備えており、従来のダブルサイドアクセスシステムと比較して設置面積要件を低減します。オプションのACモーター式ステージにより、優れたダイナミックアライメントを実現し、より高い加速と高速スループットを実現します。ステージには、高度な光学エンコーダユニットとナノメートル分解能を備えており、ウェーハ全体で高精度で再現性の高いアライメントと測定値を提供します。TENCOR 6420はまた、高度なスマートセンサーフロントエンドとデジタル信号処理を含む高効率イメージングマシンを内蔵しています。これにより、サブミクロンレベルまでの解像度で、高速で正確なフルフィールドイメージキャプチャが可能になります。イメージングツールは、2つの同時アライメントを提供し、ユーザーは1つのマップが形成を完了するのを待つことなく、ピクセルレベルに完全なウェーハ表面をマッピングすることができます。6420は、さらに測定精度と歩留まりを最大化するために、オーガー電子を用いて3次元の表面特徴を検出するAugerScan™と呼ばれる独自のin-situ光学計測技術を使用しています。AugerScan技術は、0。01 ppmよりも優れた再現性を持つプロセス歩留まりを決定するためにも使用されます。このアセットは、高度な画像処理と組み合わせることで、優れたプロセス特性評価とフォルト解析を可能にします。6520には、データストレージと処理のための高度なソフトウェアツールのスイートが装備されています。グラフィカルディスプレイと包括的な分析を備えた詳細な測定レビューを提供し、包括的な歩留まり管理を提供します。このモデルは、ネットワーク接続されたPCからの完全なリモートアクセスも提供し、ユーザーは任意の場所から測定値とパフォーマンスデータを監視することができます。KLA/TENCOR 6420は、試験および計測のための信頼性の高い高性能な機器を探している半導体メーカーや設備にとって理想的なソリューションです。このシステムは、高度なイメージングおよびセンシング機能、高精度、再現性のある測定機能を備えており、迅速かつ信頼性の高いプロセス歩留まり解析と欠陥識別を提供します。全体として、KLA 6420はウェーハテストと計測ニーズに最適なユニットです。