中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #9180714 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanプラットフォームは、半導体ウェーハの電気特性と地形特性を評価するためのオールインワンの高精度ウェーハ試験および計測機器です。プロセスの歩留まりを改善し、プロセス制御を強化し、デバイスのパフォーマンスを保証するように設計されています。KLA 6420 Surfscanシステムはモジュール式プラットフォーム上に構築されており、洗練されたクローズドループのin-situ測定ユニットが必要です。この機器は、光学計測、非接触電気測定、およびウェーハ検査を統合しています。ウェーハ上で最大5箇所の電気特性とウェーハトポグラフィを同時に測定します。TENCOR 6420サーフスキャンマシンは、走査型電子顕微鏡、共焦点顕微鏡、定量表面計測、電気計測を組み合わせた統合計測プラットフォームであるKLA InSightテクノロジーを搭載しています。この技術は、ウェハの電気特性と表面形態を定量化する高分解能で包括的な測定を提供します。このツールは、ウェーハ上の複数のサイトで同時に測定することもできます。プロメトリック6420ウェハモジュールを使用して、電気的特性のIn-situ電気測定を行います。このモジュールは、直径4インチの小さなウェーハでも、非接触、低力のin-situ電気測定が可能です。このモジュールは、ウェーハ全体の高周波信号と低周波信号の両方を測定して、充放電電圧、電流経路、表面抵抗、誘電率、漏れ、容量などの電気パラメータを識別できます。6420 Surfscanの光学計測機能は、ウェーハ上の正確で正確な地形および表面プロファイルを提供します。このモジュールは、独自の光源と精密光学系を使用して、表面粗さ、表面の質感、およびウェハの厚さを正確に測定します。また、ウェーハの表面プロファイルと高さプロファイルの両方で高出力と低出力の両方の測定スキャンを実行することができます。統合された光学および電気ウェーハ検査スキャンにより、ウェーハの異常または欠陥に関する詳細なデータがユーザーに提供されます。アセットの視覚欠陥解析は、あらゆる異常を検索するためにウェーハ表面の完全な270度の自動検査を実行します。汚染物質または欠陥は、プロセスを通過する際に識別、分類、追跡することができます。TENCOR PROMETRIX 6420 Surfscanプラットフォームは、正確で包括的な電気計測分析を提供することができる汎用性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。これにより、製造メーカはウェーハの電気的性能と地形的特徴を正確に確保し、最終的にプロセスの歩留まりとデバイスの性能を向上させることができます。