中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293777614 を販売中

KLA/TENCOR 6420 Surfscanは、大量のウェハプロセスと歩留まり信頼性を実現するウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、高速で強力な測定を提供し、チップからウェーハ、統計分析までの試験プロセス全体を自動化します。KLA 6420 Surfscanは、KLA/TENCORシリーズの最新のウェハテストシステムで、さまざまなウェハタイプに精密な非破壊検査測定を提供できます。TENCOR 6420サーフスキャンは、リニアアレイ技術を使用して、ウェーハ表面の粒子や粒子関連の欠陥などのプロセス欠陥を検出します。ウエハ裏面の粒子を検出する背面カメラを内蔵しています。6420は、欠陥を正確に検出するために、TENCOR特許取得済みの光学表面計測技術を採用しており、AlphaTestTMTM測定アルゴリズムを使用して粒子とその周囲のコントラストを最適化しています。さらに、6420 Surfscanはサンプルレート制御、画像品質管理、パーティクルバーテキシングなど、幅広い機能を提供します。KLA/TENCOR 6420 Surfscanは、半導体ウェーハ処理における大量のニーズに対応するように設計されています。高速で精度が高く、さまざまなウエハータイプに対応できるだけでなく、3次元フィーチャーから詳細な寸法情報をキャプチャするためのプロファイリング機能を備えています。この機能は、高さや曲率などの形状特性を測定するために使用されます。データが正確であることを確認するために、KLA 6420 Surfscanは独自の統計分析プロセスを使用してプロファイルを分析し、ウェーハ表面の正常性または均一性から何がないかを判断することができます。TENCOR 6420サーフスキャンのプロービングユニットは、検査中にウェーハが損傷するリスクを最小限に抑えます。ウェーハ全体の正確な測定を確実にするために、ウェーハを複数回スキャンします。さらに、このマシンはさまざまな欠陥レビューと分類機能を備えているため、現場の欠陥をすばやく特定して分類することができます。これにより、プロセスの問題を迅速に特定し、意思決定をスピードアップできます。6420サーフスキャンは、その堅牢な精度と信頼性のために、半導体製造研究所で必須のものです。KLA/TENCOR 6420 Surfscanは、迅速な測定、迅速な欠陥レビューおよび分類プロセスにより、生産ウェハテストのための最も信頼性の高いウェハテストおよび計測を提供します。