中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293776063 を販売中

KLA/TENCOR 6420 Surfscanは、ウェーハ表面特性評価のための高精度な測定を提供する高度なウェーハ試験および計測機器です。半導体・フォトマスク検査用途において、高い歩留まりと優れた欠陥検出を可能にする非破壊計測システムです。このユニットは、ブライトフィールド共焦点顕微鏡（CSM）技術を使用して、半導体ウェーハ表面を0。125 µmの解像度まで3次元で測定します。カスタム設計のx-y-zスキャナは、ウェーハの全領域にわたって高速スキャンを提供します。これは通常、8 ″、 12 ″、または16 ″です。スキャナーのoptomechanical設計は、画像の歪み、ノイズ、およびドリフトを最小限に抑えるために最適化されているため、正確で繰り返し可能な測定に最適です。カラーCCDやデジタルラインアレイセンサーなど、さまざまな高解像度カメラオプションを備えています。KLA 6420 Surfscanは、専用ハードウェアとソフトウェアモジュールを備えた強力なコンピューティングアーキテクチャを提供する高度なハイブリッドデジタル信号プロセッサマシンを使用しています。専用のハードウェアおよびソフトウェアモジュールにより、テストデータの高速処理、欠陥の検出、欠陥分布の測定が可能です。このツールはまた、複数の操作モードを備えており、お客様は特定のアプリケーションに複数の種類の画像解析アルゴリズムを利用することができます。データ収集は柔軟性があり、高いサンプリングレートでサブミクロン構造を正確に特徴付けることができます。6420には、3Dサーフェスレンダリングやアニメーション化された地形映画などの高度なビジュアライゼーション機能も含まれています。これにより、欠陥と非均一性のジオメトリとサイズを明確に表示するビジュアライゼーションを作成できます。この資産には、欠陥の識別と分析のための幅広い強力なソフトウェアツールも含まれており、多用途な計測ソリューションとなっています。TENCOR 6420 Surfscanは、高精度のウェーハテストと計測のための強力で信頼性が高く、ユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。高度なCSM技術、高解像度カメラオプション、デジタルシグナルプロセッサにより、迅速かつ正確な欠陥検出、および非常に詳細なウェーハ表面特性評価が可能です。また、高度な可視化機能と幅広いソフトウェアツールを備えており、真に包括的なウェーハテストおよび計測機器となっています。