中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767212 を販売中

ID: 293767212
ウェーハサイズ: 8"
Automatic surface inspection system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、ウェーハ表面の完全かつ正確な分析を可能にするように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、その中核に高度なレーザースキャン技術を利用し、様々な異なる基板に信頼性の高い結果を提供するために、いくつかの強力な機能をパックします。このユニットの中心には、マイクロサイズのレーザースキャン干渉計があります。この干渉計は、ウェーハから表面トポグラフィデータを収集し、各サーフェスフィーチャーの位置を検出してマッピングします。このデータは、高解像度イメージングマシンを介して収集され、さらなる分析のためにウェーハの3D画像の形で表示されます。各画像は最大800万画素をサポートし、モノクロ、カラー、グレースケールで表示できます。この基本的なイメージング機能に加えて、KLA 6420 Surfscanは、断面図、フィーチャーサイズ計算、電圧変換、オーバーレイされたソベル、トローブリッジ、zkern、 slopeyフィルタリングなどの分析機能も提供します。このツールは最大8種類の機能測定をサポートしており、さまざまなサイズ、形状、および方向の機能を包括的に評価できます。TENCOR 6420 Surfscanは、ICチップやMEMSコンポーネントを含むすべてのタイプのウェーハの非接触測定にも対応しています。使いやすさのために、PROMETRIX 6420 Surfscanはシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスを介して操作されるため、技術者やユーザーは簡単に結果を見つけて分析することができます。この資産には、データ精度を向上させ、分析を高速化するための高度なソフトウェアパッケージも付属しています。これらのデータはすべて、モデルの内部メモリにローカルに保存することも、利用可能なUSBポートを介してネットワーク経由で送信することもできます。全体として、6420 Surfscanは包括的な分析および測定機能を提供する先進的な機器であり、幅広いラボおよび研究アプリケーションに最適です。さまざまな機能と高度なソフトウェアを備えたこのシステムは、ウェーハ分析の速度と精度を確実に向上させ、お客様に最高の結果を提供します。
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