中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210 を販売中

KLA/TENCOR 6420 Surfscanは、半導体業界で使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの光学特性と電気特性の両方を試験・測定し、正確かつ再現性のあるデータを分析することができます。SurfScan 6420には、WaferOptics™レーザースキャニングステージとScanpath™スキャニングコントローラという2つの主要コンポーネントが装備されています。WaferOptics™は、表面トポロジカルデータを正確かつ繰り返し測定するように設計された高速で安定した線形スキャンステージです。エンコーダの解像度は0。15ミクロンで、1軸あたり± 0。01ミクロンの再現性があります。Scanpath™スキャンコントローラには、サーフェスプロファイルデータを解釈し、有意義なメトリックに変換する独自のアルゴリズムが含まれています。このシステムは、非均一マップ、パフォーマンスマップ、オーバーレイ結果、およびその他のウェーハ表面データなどのメトリクスを生成することができます。このユニットには、低電圧信号の広範な視野を提供するZoom Optics™モジュールなど、いくつかの追加コンポーネントも含まれています。KLA 193nmおよび248nmシステム用に開発された先進的なOPCマシンも含まれており、正確なオーバーレイ校正とフィーチャーアライメントが可能です。このツールは「、ヘッド・イン・ハンド」モードで動作するため、ウェーハをアセットにマウントしたまま測定を行うことができ、位置決めや時間を損なうことなく、同じウェーハ上で複数の測定を行うことができます。ハードウェアとソフトウェアの面では、KLA 6420 Surfscanには、Pentium 4プロセッサ、Windows 7オペレーティングモデル、デュアルヘッドグラフィックスカード、16GBのRAM、 32GBハードドライブが装備されています。このデバイスには、リモートアクセスと他のTENCORシステムとの通信のためのイーサネット接続も含まれています。このデバイスは、分析と自動化のためのさまざまな種類の顧客ソフトウェアとインターフェイスと互換性があります。最後に、TENCOR 6420 Surfscanは定量的欠陥検出とオーバーレイ計測が可能です。高度な欠陥計測アルゴリズムと光学イメージングを活用して、より高い感度と精度で欠陥を検出し分類することができます。これにより、従来のイメージングおよびウェーハテストシステムよりも多くの情報をユーザーに提供し、ボトムラインに影響を与える可能性のあるより良い、より効率的な意思決定を行うことができます。