中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767201 を販売中

KLA/TENCOR 6420は、半導体デバイスの機能を迅速かつ正確に測定できるように設計された業界をリードするウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学、デジタルイメージング、およびタッチスクリーン技術を組み合わせて、ユーザーにウェーハのテストと分析のための包括的なプラットフォームを提供します。KLA 6420の堅牢な光学系は、ウェーハ表面フィーチャーの高解像度画像をキャプチャし、測定および故障解析をサポートします。ウェーハは、+/-2um（マイクロメートル）以上の公差を測定することができ、オペレータにデバイス性能を決定する上で優れたデータを提供します。TENCOR 6420のユーザーインターフェイスは、19インチのタッチスクリーンディスプレイに基づいており、機械の操作に直感的なメニュー駆動ユニットを提供します。標準コントロールに加えて、このツールはカスタマイズ可能なユーザーメニューとドラッグアンドドロップ画像比較機能も備えています。強力なオンボードイメージングにより、6420はウェーハ表面のサブミクロメータ欠陥を検出し、それに応じて修理を容易にすることができます。このユニットには、高出力ズームと、2um/ピクセル以下のリニア解像度でウェーハをイメージングすることができる高解像度の両方が含まれています。特定のデバイス機能の高度な解析のために、KLA/TENCOR 6420も自動画像比較機能を統合しています。この重要な機能により、微妙な変化や重要な寸法の測定のために画像を直接比較することができ、演算子に高い精度を与えることができます。この画像比較機能を使用すると、本番稼働期間中のデバイス製造の進捗状況を簡単に確認し、パフォーマンスに影響を与える可能性のある重要な変更を特定できます。KLA 6420は、ウェハテストと計測のための統合された粒子解析パッケージを備えており、オペレータはウェハ上の汚染物質を目立たない精度で検出および定量化することができます。この強力な機能は、詳細かつ正確なパーティクルデータを提供し、プロセスの清浄度の検証、ファブロットの歩留まりの制御、製品品質の監視に使用できます。さらに、TENCOR 6420には、自動ウェーハステージや自動ビジョンシステムなど、幅広いオプションとアクセサリが付属しています。ウェーハステージはウェーハローディング、位置決め、向きの自動化を可能にし、ビジョンアセットを使用してウェーハの表面特性をリアルタイムで検査できます。6420は、高度なウェーハ試験と計測のための包括的なプラットフォームを提供し、ユーザーに最先端の画像解析と粒子測定機能を提供します。KLA/TENCOR 6420は、直感的なユーザーインターフェイス、高解像度イメージング、画期的な計測ツールを備えており、高度なウェハテストと測定のための強力なツールをユーザーに提供します。