中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293766824 を販売中
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KLA/TENCOR 6420ウェハテストおよび計測機器は、半導体デバイスが必要な仕様を満たしていることを確認するのに役立つ、世界有数の生産ラインマイクロ検査ツールです。高精度、自動化、インライン測定および検査、高速パターン認識、パラメータスクリーニング用の電気計測、プロセス分析用の欠陥分離および分類を提供します。KLA 6420ウェーハ試験および計測システムは、半導体メーカーが製造プロセスをテストおよび監視する方法に革命をもたらしました。このユニットは、検査と計測機能を組み合わせており、各デバイスの検査ポイントまたはフィードバック用の計測ポイントの画像を生成します。フォトマスク、薄膜測定、層対層検査、欠陥分類、エッチングプロセス監視、オーバーレイ、メモリ欠陥解析など、幅広いプロセス技術をサポートしています。オートメーションサブシステムは、各ロットの正しいアライメントと識別を保証しますが、マシンは検査プロセス全体を自動化する統合されたウェハレベルテストも提供します。TENCOR 6420は、以前は気づかなかったような微妙な欠陥を検出し、高品質の製品と顧客満足度を向上させることで、生産歩留まりを向上させ、全体的な製造コストを削減するのに役立ちます。精密測定と高精度によりデバイスの性能が向上し、歩留まりが向上し、経済的パフォーマンスが向上します。このツールはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、デバイスメーカーはテストとインストゥルメントの設定をすばやく構成およびカスタマイズでき、退屈なセットアップと校正時間を排除できます。エッチングプロセス制御、層から層への検査、複雑な薄膜測定、層スタック欠陥解析、高度な計測に関する包括的な情報を提供します。6420上に存在する高度な画像解析技術は、期待されるサイズの10%であっても、すべてのサイズの機能を認識することによって偽の呼び出しを軽減するのに役立ちます。アセットの多目的なマルチレベルエッジフォロワーアルゴリズムにより、ラインエッジの整合性も向上します。これはすべて、生産性を向上させ、コストを削減し、生産全体を改善する信頼性の高いモデルに貢献します。
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