中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293758831 を販売中

ID: 293758831
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1996
Non-patterned surface inspection system, 4"-8" Defect sensitivity: 0.12 micron at 95% capture Haze sensitivity: 0.02 PPM Wavelength: 488 nm Argon laser: 30 mw PC Board Blue laser Spot size: 90 µm Scan frequency: 170 Hz Scan pitch: 10, 20, 40 µm Throughput: 120/6" WPH Single puck handling from single cassette or platform XY Coordinates CD ROM Writer CIM: GEM / SECS Operating system: Windows 98 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、シリコンウェーハ上の集積回路(IC)の最適化とテストを自動化する完全自動化ツールです。KLA 6420は、大量のチップを迅速かつ正確にテストするための高速で正確で信頼性の高い方法を提供します。TENCOR 6420システムは、高度な光学および計算システムを使用して、大きなウェハ上のテストチップのサイズ、形状、方向の小さな変化を測定します。用途に応じて多用途に設計されており、さまざまなウェーハの種類の計測とテストが可能です。このシステムは、迅速かつ正確で汎用性の高いウェーハ購入を提供し、チップの正確で効率的な評価を可能にします。ユニットは、光学ヘッド、ステージ、コントローラの3つの主要コンポーネントで構成されています。光学ヘッドには、カメラ、レンズ、発光ダイオード(LED)など、イメージングに使用されるさまざまな光学部品が含まれています。これらの部品の助けを借りて、機械はサイズ、形、およびオリエンテーションのようなテストチップの特定の特徴を正確に測定します。ステージは、ウェーハ上のテストチップの正確かつ正確な位置決めを担うもう一つの重要なコンポーネントです。これは、x、 y、 z軸でウェーハを正確かつ迅速に動かす精密ガイドウェイとアクチュエータの配列で構成されています。コントローラはツールの背後にある脳です。ステージ、光学ヘッド、データ収集ソフトウェアの動きを制御します。インテリジェントで効率的な強力なソフトウェアが含まれており、膨大な数のテストチップを迅速かつ正確に測定できます。6420ツールは、特定のアプリケーションに特化したさまざまなソフトウェアパッケージも提供しています。これらのパッケージは、全体的なテストプロセスの精度とスループットを向上させるように設計されています。ソフトウェアパッケージでは、データ分析、統計プロセス制御、およびユーザーがテストプロセスを最適化できるさまざまな機能も利用できます。KLA/TENCOR 6420ウェーハテストおよび計測資産は、大量のチップを迅速かつ正確にテストするための高速で正確で信頼性の高い方法を提供します。製品を生産するためには、高品質のチップを必要とする半導体や電子機器メーカーにとって不可欠なツールです。テストプロセスを自動化することで、企業は業務のスループットを高め、テストのコストを削減し、高品質の最終製品を保証できます。
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