中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476 を販売中

KLA/TENCOR 6420は、効率的なナノメートルスケールの欠陥解析、特性評価、および修理用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。ウエハーの欠陥粒子を200 mmまで正確に識別、ローカライズ、分離するための高度なハードウェアおよびソフトウェア技術を内蔵しています。システムは、通常、ホストマシン、データ収集ハードウェアおよびソフトウェア、ビジョンシステム、欠陥解析および修復ソフトウェアを含む複数のサブシステムで構成されています。ホストマシンは、PentiumクラスのPCで、最小512 MBのRAMを使用できます。データ収集ハードウェアとソフトウェアは、テスト結果を取得し、高度な欠陥サイジング、解析、分離機能を提供します。ビジョンユニットは、検出された欠陥の正確な詳細を提供するために、各ウェーハの写真画像を自動的にキャプチャします。欠陥解析および修復ソフトウェアは、ウェーハ上の欠陥を自動的に検出、サイズ、ローカライズ、分離するための幅広い計測技術を採用しています。KLA 6420マシンの信頼性と精度は、自動フォーカスと非接触検査を含む高度な光学メカニズムによって保証され、正確なアライメントとパーティクルサイジングのために光学系を調整します。さらに、このツールの光学系には、ウェーハの3次元画像を作成するための2つのデジタルオートフォーカスカメラが装備されています。TENCOR 6420アセットの欠陥解析および修復機能は、プラットフォーム上のウェーハのin-situイメージを取得し、自動的に欠陥分離、分析、および特性評価操作を実行します。このモデルには、正確な欠陥識別、ローカライズ、分離を保証する高度な計算アルゴリズムも含まれています。6420機器には、レシピ管理システム、欠陥追跡ユニット、欠陥分類および定量分析機能、包括的な統計分析、ファイルアーカイブ機能などのユーティリティの包括的なスイートも含まれています。さらに、このマシンは、テスト操作のリモート管理のための高度なジョブ管理ツールを備えています。全体的に、KLA/TENCOR 6420は、高精度と高精度のために設計された強力で信頼性の高いウェハテストおよび計測資産です。このモデルは、高度な光学系、ビジョンシステム、欠陥解析および修復機能と組み合わせることで、効率的かつ効率的なナノメートルスケールの欠陥解析および特性評価に最適です。