中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067 を販売中

KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology装置は、半導体ウェーハの自動検査を可能にするソフトウェアおよびハードウェアベースのプラットフォームの多機能セットです。これにより、製造時に製品の品質と完全性を確保し、全体的な歩留まり率を向上させることができます。KLA 6420システムは、品質管理を確実にするためのいくつかの要素で構成されています。このユニットには4D 3001ウェーハ測定ステーションがあり、Xプラズマ検査を使用してサブディメンションの欠陥や汚染物質を特定します。また、ウエハパターンアライメントによりオーバーレイ測定を行い、ミスアライメントの問題を報告します。また、4D 3001検査ステーションを備えており、近距離スキャン光学顕微鏡（NSOM）を使用してウェハの地形を検査します。このステーションには、8つの内部制御照明モードと複数のセンサーがあり、欠陥の特定に役立ちます。4D 3101マッピングツールは、マクロ欠陥レビューを使用して、資産障害の原因となる汚染のウェーハを評価します。CDS 3001ウェーハクリーニングモデルは、粒子のウェーハをクリーニングするために粒子爆撃技術を使用しています。クリーナーチェックステーションは、4点測定プログラムを使用して、ウェハクリーニングプロセスの前、中、後の汚染レベルをチェックします。ソフトウェアおよびハードウェアベースのプラットフォームに加えて、TENCOR 6420はQuality Managerソフトウェアも使用しています。Quality Managerは、製造プロセスを作成、実装、監視できるプロセス管理ツールです。このソフトウェアにより、ユーザーは可変性を低減し、ウェーハ機能を向上させることができます。全体として、6420は半導体製造業界における試験および計測のための完全なソリューションを提供する包括的な機器です。これにより、ユーザーは品質管理プロトコルを作成し、ウェーハを測定および分析し、汚染を低減するためにウェーハをクリーンにすることができます。このシステムの助けを借りて、メーカーは製品の歩留まりを改善し、コストと生産時間を削減し、収益性を高めることができます。