中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293673416 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、高度なウェハテストおよび計測機器です。半導体デバイスの製造に使用されるウェーハの正確で高精度な試験と検査を提供するように設計されています。これにより、効果的な生産計画に必要なすべての重要な表面パラメータを微細に測定できます。6420システムは、高度なデジタルイメージング技術を使用した自動顕微鏡と、イメージングサンプル用の走査型電子顕微鏡（SEM）を備えています。そのイメージングユニットには、高解像度のCCDイメージングアレイを備えたスキャンヘッドと、大きなウェハをスキャンするためのX-Yステージが含まれています。この装置は、画像キャプチャにおいて優れた速度と精度を提供する固体電子銃を装備しています。SEMの高速スキャン速度により、スループットが向上し、ウェハテストと検査のサイクルタイムが短縮されます。6420はまた、ユーザーが正確で高精度な測定を行うことができますソフトウェアの包括的なセットを備えています。これには、画像強化、エッジ検出、欠陥解析、およびその他のデータ分析ツールのためのソフトウェアが含まれます。このツールには、フーリエ変換解析（FT-IR）、エネルギー分散X線解析（EDXA）、オーガー電子分光（AES）などのさまざまな分析ツールも付属しています。素材特性の違いを素早く正確に検出・測定することが可能です。アセットのコンパクトな設計と使いやすいインターフェイスにより、ラボや生産環境に簡単にインストールおよび統合できます。オープンアーキテクチャにより、追加のテストおよび分析機器を簡単に統合できます。また、直感的なユーザーインターフェイスと、ユーザーが機器をすばやく学習できる広範なヘルプモデルを備えています。プラグアンドプレイ機能により、トレーニングを最小限に抑えたユーザーでも簡単に使用できます。KLA 6420 Surfscanは、統合ウエハテストと計測に最適なソリューションです。高度なデジタルイメージング技術と包括的なソフトウェアの組み合わせにより、ユーザーは正確で高精度なウェーハ測定を行うことができます。その高速スキャン速度と迅速なデータ分析により、本番環境およびラボ環境での高速サイクルタイムを実現します。オープンアーキテクチャと直感的なユーザーインターフェイスにより、既存のシステムに簡単にインストールおよび統合できます。半導体製造における高精度ウェーハ試験および計測の需要に最適なソリューションです。