中古 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293624109 を販売中
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KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscanは、半導体業界におけるフラットで自立したウェーハおよび回路アセンブリの特性評価用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。それはケイ素、ガリウムヒ素および石英を含む多くの異なった材料の表面の位相そして平坦を正確に測定することができます。KLA 6420 Surfscanシステムは、計測ヘッド、テストスタンド、さまざまなハードウェアおよびソフトウェアオプションで構成されており、最も汎用性の高いウェハテストおよび計測システムの1つです。計測ヘッドは、精密なブラシレスジンバルモーターによって駆動される垂直ステージに取り付けられています。また、フレキシブルな光学反射計、干渉計、X線回折計、散乱計、X線表面イメージングカメラも搭載しています。これらのコンポーネントは、表面粗さ、平坦度、欠陥などのトポロジカルな詳細を0。5ナノメートル以上の分解能で測定することができます。物理的な表面測定機能に加えて、TENCOR 6420 Surfscanマシンはさまざまなソフトウェアオプションを提供します。これらには、自動欠陥検出用のマルチチャネル画像解析、表面特性評価およびトレンド監視用の統計解析、仮想プロトタイピング用の対話型3Dディスプレイなどがあります。さらに、このツールは故障解析や製品評価に使用でき、高度なソフトウェアにより、複数のサイトからのデータを簡単に比較できます。6420 Surfscanアセットは、プロセス監視と歩留まり改善開発のための貴重なツールです。精密測定機能により、モニタリング寸法、表面欠陥、フィーチャー登録などの高度な品質管理アプリケーションに最適です。また、さまざまな形式で正確で詳細なレポートを生成することができ、結果を迅速に分析し、情報に基づいた意思決定を行うことができます。全体として、PROMETRIX 6420 Surfscanモデルは非常に強力な計測装置であり、正確な表面測定とトレンドを非常に精度と速度で分析および報告することができます。これは、製品が品質と信頼性の基準を満たしていることを確認しようとする半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。
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