中古 KLA / TENCOR 6300 #9394711 を販売中

KLA/TENCOR 6300ウェーハ試験および計測装置は、半導体メーカーのウェーハのさまざまな物理特性を測定するために使用されます。ウェハテストと測定機能を多彩に備えた高精度ツールです。KLA 6300システムは2つの統合サブシステムを利用しています。1つ目は、ウェーハの2Dおよび3Dトポグラフィを測定できるダイツイメージング機能と、2つ目は光吸収、屈折率、表面粗さなど様々な物性を測定できる高分解能分光楕円計です。TENCOR 6300ユニットのイメージング機能は、ナノメートルの空間分解能レベル内の2D画像またはビデオ情報をキャプチャするために使用されます。これにより、通常は肉眼では見えないかもしれない高いレベルのディテールのキャプチャと分析が可能になります。また、ウェーハの3D画像をキャプチャする機能も備えており、厚さ、ステップ高さ、およびその他の重要な層の特性を正確に測定できます。6300ツールの分光楕円計の機能には、250〜2,500nmの周波数範囲でウェーハの反射率や吸収率などの光学特性を測定する機能が含まれます。これにより、ウェハの厚さ、屈折率、膜厚を決定できます。KLA/TENCOR 6300はまた、固定角度または可変角度測定、偏光操作、高速測定などのさまざまな測定技術を提供し、正確で再現性の高い結果を提供します。これらの機能に加えて、KLA 6300には強力なデータ管理機能があり、ユーザーはさまざまなシステムのデータにアクセスして分析し、ユーザー定義の方法で情報を保存し、カスタムレポートを簡単に作成できます。これにより、ウェーハテストプロセスを合理化し、全体的な効率を向上させることができます。TENCOR 6300は、半導体製造における品質管理に優れたツールであり、研究およびインラインプロセス制御アプリケーションの両方に適しています。6300の信頼性、精度、データ管理機能により、ウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。