中古 KLA / TENCOR 62XX / 64XX #9024565 を販売中

KLA/TENCOR 62XX/ 64XX機器は、半導体やその他のマイクロエレクトロニクス市場向けに設計された汎用性の高い精密ウェハテストおよび計測システムです。このユニットは大量生産用に設計されており、幅広い用途で信頼性の高い正確な結果を提供する測定を提供します。このマシンは、寸法測定や欠陥検査など、さまざまなプロセスに不可欠な計測機能を実行できます。KLA 62XX/ 64XXツールは、さまざまなレベルの精度と速度でウェーハテストと計測機能を実行することができます。このアセットは、0。5ミクロン以下の精度レベルの構造物の高さ、深さ、幅を測定することができます。また、小さなスポッティングから大きなダイ埋め込みまでのサンプルのスペキュラー欠陥とサブスペキュラー欠陥を検出することもできます。TENCOR 62XX/ 64XXモデルは、膜厚測定とウェーハ寸法測定、光学検査の2種類の試験を備えています。高精度で高精度な結果を得るために、洗練された光学部品と機械部品を組み合わせています。これは、強化された膜厚試験のためのステージとフィルターのシステムを利用しています。さらに、このユニットは、検査結果の画像品質と精度を検証するのに役立つ高度な光学モジュールを備えています。62XX/ 64XXマシンには、。001と。0002の2種類のウェーハ寸法もあります。。001ツールは2ミクロンまでの真の解像度を持ち、。0002アセットは0。5ミクロンまでの真の解像度を持っています。Thisresolutionは精密構造および欠陥の測定のために必要です。KLA/TENCOR 62XX/ 64XXモデルは、幅広いサンプルのテストと測定が可能なだけでなく、非常に使いやすいです。装置は自動化されており、最小限のメンテナンスが必要です。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスを備えており、自動実行とデータ収集のためのさまざまなソフトウェアスクリプトをサポートしています。さらに、統合イメージングシステムを搭載しており、サンプルの構造と表面の両方の特徴を観察するために設計されています。要約すると、KLA 62XX/ 64XXユニットは、半導体およびマイクロエレクトロニクス市場向けに設計された汎用性の高い正確なウェーハ試験および計測機です。使いやすく、メンテナンスを最小限に抑え、さまざまな試験および測定オプションを備えています。それは正確な測定のための貴重なツールであり、データの表示、分析、および解釈のプロセスをより効率的で有益にするのに役立ちます。