中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9379353 を販売中

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ID: 9379353
Wafer inspection system With laser.
KLA/TENCOR 6220サーフスキャンは、高度なウェハテストおよび計測機器です。これは、最も複雑なパターン化された表面であっても、迅速かつ正確に欠陥を検出、発見、特性評価するように設計されています。KLA 6220 Surfscanは、高解像度CCDカメラと独自のアルゴリズムを使用して、デバイスの表面全体の自動検査またはレビューを生成します。システムのソフトウェアは、ウェーハ上に存在する欠陥を検出および分析するように設計されています。パターン認識、線幅測定、インターレベルダイ(ILDTD)比較などの機能により、最も微妙な欠陥を検出することができます。また、自動化されたレビューと検査手順により、誤検出のリスクが大幅に軽減されます。TENCOR 6220 Surfscanはまた、許容不良と欠陥クラスタを効果的に区別するためにユニットが使用する事前定義された欠陥の包括的な範囲を提供します。6220 Surfscanはまた機械の性能を最大限に活用するためにいろいろな点検モードを提供します。これらのモードは、評価されるフィーチャーの種類と同様に、特定のウェーハジオメトリに合わせて調整することができます。さらに、設定やアルゴリズムタイプなどのさまざまなパラメータを調整して、ツールのピーク効率を確保することができます。KLA/TENCOR 6220サーフスキャンの高精度で信頼性の高い結果により、さまざまなウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。このアセットの高度な検出および分析機能を活用することで、製造メーカーはウェーハの欠陥を迅速かつ効果的に検出および特性評価することができます。さらに、自動化されたレビューおよび検査手順により、手動レビューの必要性を排除し、結果の精度を向上させることができます。要約すると、KLA 6220 Surfscanは、ウェーハの欠陥を特定するための高速で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションを提供します。
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