中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9371741 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、高解像度の2次元計測および欠陥検査を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。ベアウエハとパターンウエハを総合的に測定し、精密なアライメントとコンタミネーション検出が可能です。このシステムは、統合されたウェーハハンドリングサブシステム、スキャンヘッドモジュール、および触覚面イメージングソフトウェアパッケージで構成されています。ウェーハハンドリングサブシステムは、SurfScanの光学系に対するウェーハ表面の正確なモーションコントロールを提供するように設計されています。また、作業面への自動給紙やウェハの移動も可能です。スキャンヘッドモジュールは、CCDカメラ、レーザーソース、ステッピングモーターを搭載した光学ユニットで構成されており、作業面を移動しながらウェハをスキャンできます。これにより、分析のためのウェーハの画像を取得することができます。CCDカメラは1000 nmの解像度を持ち、34 mmまでの視野を持つ画像を取得することができます。レーザー光源の波長は1060nm、出力は200Wです。ステッピングモータは650×650nmの段階でサブミクロンの精度を達成することができ、高解像度の画像を可能にします。SurfScanには、取得した画像から表面と地下の両方の情報を抽出できる触覚表面イメージングソフトウェアパッケージも含まれています。これは、表面粗さと欠陥の地形、ウェーハ平坦度と弓、および表面汚染を測定することによって行われます。ソフトウェアパッケージには、欠陥検査、処理、分析を行うためのさまざまなツールも含まれています。また、このツールは、明るいフィールドと暗いフィールドの照明の両方で画像をキャプチャすることができます。これにより、チップ、傷、粒子、エッジチッピング、ピットなどの幅広い欠陥を検出できます。このモデルは、SEMI 300-02やMIL-STD-883などの業界標準に準拠しています。KLA 6220 Surfscanは、ウェーハの効率的かつ正確な検査、テスト、分析を可能にする高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高解像度、高精度アライメント、欠陥検出機能を備えており、さまざまな種類のウエハサンプルを迅速かつ正確に分析することができます。