中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9358653 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体製造設備で使用するために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、さまざまなサイズと形状のウェーハで高速で高精度な計測を行うために最適化されています。デバイスメーカーに比類のないプロセス制御を提供し、ウェーハ処理の問題を引き起こす可能性のあるパターン、欠陥、およびその他の異常を迅速に特定できます。6220は、ウェーハの測定と分析に協力するいくつかの主要コンポーネントで構成されています。ユニットの最初の要素は、ウェーハトポグラフィを測定するためのレーザー干渉計を含む計測ツールです。この高精度な測定ツールは、ナノメートルスケールの測定を行うことができ、非常に細かいディテールを確認することができます。ウェーハの表面や形状を正確に解析することができます。2つ目の要素は、Surfscanのオペレーティングマシンを構成するコンピュータハードウェアとソフトウェアです。強力なサーバ、大容量のストレージ、高度なプログラミングにより、Surfscanはさまざまなウエハー分析タスクに設定できます。このツールは、測定モードを定義し、サンプリング時間を設定し、画像の保存と検索を処理するために使用できるオートメーションソフトウェアによって制御されます。3番目の要素は、測定中にウェーハの画像をキャプチャするために使用されるアセットの画像取得部分です。これらの画像はモデルに保存され、データや分析を簡単に取得できます。この装置には、さまざまな計算を実行するために使用できる強力な分析ソフトウェアも装備されています。最後に、先進的な通信機能を搭載し、工場制御ユニットなど半導体施設の他のサポートシステムと統合することができます。これにより、Surfscanはウェーハテストの結果をよりよく追跡し、問題を診断し、プロセスステップを評価することができます。全体として考えると、KLA 6220 Surfscanはデバイスメーカーにとって強力なツールです。高度な測定、画像取得、診断機能を備えた包括的な計測機械を提供し、さまざまなサイズと形状のウェーハの迅速かつ正確な試験および分析に最適です。