中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9249955 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、高度な半導体製造プロセスで使用するために設計された汎用性の高いウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェーハ部品の物理的、電気的、光学的パラメータを高精度かつ信頼性で測定することができます。光学プロファイラ、電圧センサ、光学顕微鏡、光リフレクタンス分光光度計、原子力顕微鏡（AFM）など、各ウェハの表面を解析する各種ツールを搭載しています。これにより、より良い解像度でウェーハのコンポーネントをより正確に評価できます。光学プロファイラは、表面ステップ、粒子、および非均一性を含む表面フィーチャーを、極めて正確に迅速かつ正確に測定できます。また、信号相互相関や測定データの高速フーリエ変換（FFT）など、幅広い解析機能を提供します。電圧センサを使用すると、部品に電圧を印加して得られた電流を測定することで、ウェーハ部品の電気特性を測定できます。これは、デバイスの電気部品の動作に関する貴重なデータを提供し、ユーザーがその性能を特徴付けることができます。光学顕微鏡は、欠陥や汚染などのウェハ部品の微細な特徴を10倍の倍率で観察するために使用されます。この機械の光反射分光光度計は、表面特性と欠陥を測定するために使用され、高精度の結果を提供します。アプリケーション固有の集積回路（ASIC）を使用して、計測プロセスの一部としてデジタル回路をテストすることができます。最後に、このツールにはAFMが装備されており、ウェーハ表面の個々の特徴を測定および特徴付けるための強力な力場に依存しています。この技術は、ウェーハ表面の振動、表面の粗さと構造の詳細な画像を提供することができます。KLA 6220 Surfscanは、最新のウェーハテストと計測技術を1つのユニットに組み合わせることで、ユーザーはウェーハのコンポーネントの物理的、電気的、光学的特性を正確かつ迅速に分析することができます。その精度と汎用性は、半導体製造分野で貴重なツールとなります。