中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、自動化された高精度のウェーハ試験および計測機器で、高い品質管理とウェーハ生産の基準を満たすために、強力で繰り返し可能で正確な結果を提供します。半導体、MEMS、太陽光発電アプリケーション向けに設計されており、研究開発や大量生産環境に対応しています。具体的には、Surfscan 6220システムは、ウェーハの平坦度、ウェーハの反り、およびウェーハ上のダイの重要な寸法を測定することができます。また、プロセス制御、ユニット特性評価、故障解析、設計/プロセス最適化のための重要なレポートとデータも提供します。Surfscanマシンは、ビジョンツール、ステージ、ウェハハンドラで構成されています。このビジョンアセットには、強力なCCDレーザー反射ベースのオートフォーカスユニットと堅牢な欠陥検出アルゴリズムが含まれており、測定が高精度で反復可能であることを保証します。ステージは高度なフィードバック・トポグラフィと高解像度光学センサーで構成され、ウェハハンドラはビジョンモデルからステージに素早く基板をロード、アンロード、移動することで高速な測定時間を提供します。装置を使用するには、まずウェハをハンドラにロードし、ビジョンシステムに配置します。オートフォーカスと検出プロセスの後、ウェーハをステージに配置し、コヒーレント光源でスキャンします。反射された光を収集し、さらなる分析のためにきれいにします。データが収集されると、アルゴリズムを使用して平坦度、反り、その他のキーパラメータを測定します。測定結果は、ウェーハトポグラフィ、重要寸法、およびその他の重要なウェーハ特性を含むレポートに収集されます。さらに、メンテナンスと校正ルーチンは自動化され、結果の一貫性が向上します。全体として、KLA/Tencore KLA 6220 Surfscanは、最高品質管理要件を満たすために、強力で繰り返し可能なウェーハテストと計測データをユーザーに提供します。信頼性が高く、正確で使いやすく、あらゆるウエハー生産ラインに優れた付加物となっています。