中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9222541 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体デバイスの製造に使用されるウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェハの表面形状、表面平坦度、フォトマスクおよびウェハアライメント、オーバーレイ精度、欠陥サイズ、汚染などの電気的および物理的特性を測定するために使用されます。システムは下記のものを含んでいます：光学モジュール；画像処理および解析モジュール。スキャンステージ；ウェブベースのユーザーインターフェイスです。Surfscan 6220光学モジュールは、CCDカメラを使用してウェーハの表面プロファイルと係数を測定します。このユニットは、正確な結果を提供するために自動校正ルーチンを提供し、内蔵のオートフォーカス機能により、正確な測定のためにサーフェスを集中させます。画像処理モジュールは、高度な画像処理アルゴリズムを使用して、ウェーハ全体の表面欠陥を検出、分類、測定します。自動化された欠陥検出アルゴリズムは、数ナノメートル程度の機能を検出することができ、粒子、傷などを検出することができます。Surfscan 6220スキャンステージは、ウェーハの高精度スキャンを提供します。300mm x 300mmのプラットホームにモーターを備えたZ軸を備えており、最適な表面処理を可能にします。スキャナーは、正確にCCDカメラマシンとウェーハを揃え、一貫した正確な結果を保証します。Webベースのユーザーインターフェイスは、ユーザーにツールと対話するためのアクセス可能で直感的な方法を提供します。ユーザーはスキャンプロファイルを作成して保存し、必要なときに簡単にアクセスできるだけでなく、キャリブレーション、スキャンセッションの実行、アクセスログと設定情報などのタスクを実行できます。KLA Surfscan 6220ウェーハテストおよび計測資産は、半導体ウェーハを測定および検査するための信頼性の高い、費用対効果の高い方法を提供します。高精度で使いやすく、最適なパフォーマンスを提供する豊富な機能を備えています。