中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213911 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体製造および研究開発産業のニーズを満たすように特別に設計されたウェーハ試験および計測機器で、ウェーハの潜在的なプロセスおよび材料問題を迅速かつ正確に特定できます。このシステムは、光学計測技術とコンタクトベース計測技術の両方を組み合わせて、高度なウェーハ表面イメージング機能を提供し、ユーザーはナノメートルスケールまでの特徴を測定および識別することができます。KLA 6220サーフスキャンは、リソグラフィ、研磨処理、反射測定、エッチング、スピンコーティングなど、幅広いプロセスでウェーハトポグラフィを検査するために使用できます。特許取得済みの2次元スキャンテクノロジーにより、低消費電力の固定波長レーザーを使用して照明領域から画像データをキャプチャし、この情報を処理して、テスト中のウェーハの表面特性を特定します。TENCOR 6220サーフスキャンは、単一のスキャンでサンプルの粗さと輪郭の両方を測定でき、フィーチャーサイズ、形状、テクスチャ、深さなどの複数のパラメータタイプのデータを提供します。6220サーフスキャンには、クラス10のクリーンルーム環境に準拠した統合ビジョンユニット（IVS）があり、汚染のない動作環境を確保し、最大のスループットを提供します。このマシンは、リアルタイムフィードバックKLT-1617自動測定機能へのアクセスを提供するオプションの自己完結型タッチスクリーンWindowsベースのソフトウェアを介して動作します。KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、信頼性の向上、測定の高速化、精度の向上など、さまざまな利点をユーザーに提供します。その高度な測定技術により、ウェーハ上の電磁干渉を検出することができ、欠陥を特定するための貴重なツールとなります。KLA 6220 Surfscanはモジュール式でアップグレードも可能で、必要に応じて反射計、顕微鏡、蛍光システムなどの追加コンポーネントを追加できます。要約すると、TENCOR 6220 Surfscanは、半導体製造および研究開発産業の特定のニーズを満たすために、信頼性の高い動作とモジュール性を備えた機能を迅速かつ正確に識別できる、高度で高性能なウェーハ試験および計測ツールです。