中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、ナノスケール上のウェーハの電気特性を測定するために設計されたウェーハ試験および計測装置で、半導体製造プロセスの正確な分析を可能にします。それは表面欠陥を検出し、汚染物を追跡し、表面の粗さおよびフィルムの厚さを測定することを可能にする高度の光学および電気測定の機能が装備されています。6220は、6台のCCDカメラからなる高感度の光学サブシステムを備えています。LED光源を変化させることで、サンプルとサンプル表面の異なるコントラストを捉えることができます。これにより、従来の光学計測法では検出できなかったサブミクロン形状や地下欠陥を検出することができます。カメラはまた、分析の速度と精度の両方を高めるサンプル表面の完全な360⁰のビューからデータを収集することができます。6220はまた、自動カンチレバービーム測定（ACBM）技術を利用した独自の電気サブシステムを備えています。これにより、ウェーハ表面を移動する際にサブピコメータの精度で電気信号を検出することで、表面トポグラフィのナノスケール変動を測定することができます。このユニットにはマルチタップ技術も搭載されており、各測定ポイントからより大きなデータを収集することで、より高い精度とスループットを提供します。さらに、6220には独自のソフトウェアパッケージが含まれており、ユーザーは特定のニーズに応じてカスタマイズされた計測プログラムを作成できます。このソフトウェアパッケージは、データ分析やデータビジュアライゼーションツールなどの幅広い機能、および自動レポート機能をユーザーに提供します。また、このソフトウェアはトレーサビリティ機能を備えており、ユーザーはサンプルの量と特性を追跡することができます。6220の光学、電気、ソフトウェア機能を組み合わせることで、ナノスケールでウェーハ基板を正確に分析および測定することができます。機械の高度な計測機能により、小規模な表面欠陥を検出し、短時間で正確な測定を得ることができ、半導体メーカーにとって理想的な選択肢となります。