中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9185202 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、包括的で自動化された表面解析と歩留まり改善を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。反射、散乱、応力、地形、汚染などの表面パラメータを正確に測定します。300mmモジュールと最大7つの検査チャネルを備え、さまざまな半導体製造アプリケーションでの歩留まり向上に最適です。このシステムは、X方向とY方向の両方でサンプルを移動するXYステージを備えたシングルビームユニットと、XYステージと平面スキャナを備えたマルチビームマシンで構成されています。シングルビームシステムとマルチビームシステムは、単純なウェーハ表面検査から複雑なウェーハバックエンドプロセス追跡まで、さまざまなアプリケーションに使用できます。マルチビームツールは、反射、散乱、応力などのさまざまな表面パラメータに関する迅速かつ正確なデータを提供します。一方、シングルビームアセットは、表面マイクロトポグラフィのより詳細で解像度の高いイメージングを提供します。モデルは、高度な信号処理ソフトウェアと組み合わせて、実績のあるスキャンエレクトロニクスと光学で構築されています。信号処理ソフトウェアは強力で信頼性が高く、非常に詳細な表面特性、正確な画像解析、高度なデータ比較の収集が可能です。この装置は、地形、散乱、反射、粒子汚染、および応力などのパラメータを正確に分析および測定するために使用できる複数のビームステアリングおよび照明システムを提供しています。すべてのビームの操縦変数は十分に調節可能で、将来の参照のために貯えることができます。KLA 6220 Surfscanは、プロセスの歩留まりを向上させ、パターンの忠実度を向上させるのに役立つ、堅牢で信頼性の高いシステムです。高度な信号処理ソフトウェア、高速・高精度、優れたイメージング機能により、半導体生産アプリケーションのプロセス制御と歩留まり向上に不可欠なツールになることは間違いありません。