中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9168251 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体および光電子デバイスのメーカーのニーズを満たすように設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。これは、物理的および光学的計測機能の包括的なスイートを提供する高速ウェーハ分析システムです。このユニットは、最大5ナノメートルの分解能を提供し、ナノスケール構造およびデバイス機能の測定に最適です。これは、表面構造の深さを特徴付けるために使用できる専用のフォーカスバリエーション（FV）測定機を含む、光学特性評価機能の配列を提供します。このツールは、精密ステージスキャンアセットを使用して、ナノスケールの構造と特徴を正確に測定します。このモデルは、最大直径8インチ（200mm）までのウェーハをスキャンすることができます。高精度なナノステージング装置は、最大1ナノメートルの分解能を提供し、装置の性能と信頼性に関連するさまざまな粗さパラメータを測定できます。KLA 6220 Surfscanはまた、高度な自動サーフェスメトロジー機能を備えています。このユニットは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して、非常に詳細なサーフェスプロファイルの結果を迅速かつ簡単に生成します。このマシンは、複雑な構造と特徴の特性を抽出するために使用できる複数のスキャンモードと自動フィーチャー抽出を提供します。これらの機能は、ユーザー定義の参照標準と比較して適合性を決定することができます。TENCOR 6220 Surfscanは、さまざまな重要な欠陥検出機能も提供します。このツールは、パターニング障害、汚染、傷、バンプ、凹み、亀裂などのさまざまな種類の表面欠陥を検出する機能を備えています。このアセットは、手動検査に比べて優れた性能で欠陥を自動的に検出、測定、分類します。6220サーフスキャンには、分析オプションの印象的なセットも装備されています。サーフェスプロファイルの比較や画像解析など、さまざまなパラメータ化と特性評価機能を提供します。このモデルには、包括的なデータレポートを生成し、表面構造データをグラフィカルに表示するためのソフトウェアツールも含まれています。KLA/TENCOR 6220サーフスキャンは、さまざまな機能と機能を提供する汎用性と強力なウェハテストおよび計測機器です。非常に高い測定精度と幅広い高度な機能を備えているため、製品に信頼性と精度の高い表面計測を必要とするデバイスメーカーに最適です。