中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9160480 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体産業のウェーハの地形を測定するために設計された重要な寸法計測装置です。複数のセンサーを使用してウェーハの表面形態を高解像度の3次元（3D）画像を作成する、完全自動化されたマルチセンサーウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、重要な接触角を測定する高分解能散乱計と、レーザーとクロマティックセンサーを内蔵した2つの特許取得済みスキャンヘッドを採用しており、垂直方向に最大10nm、横方向に最大5nmの解像度でウェーハ表面の画像を生成します。6Mおよび10Mセンサーのアクティブスキャン長は最大600mm、 4Mセンサーのアクティブスキャン長は最大400mmです。KLA 6220 Surfscanは、高速で低ノイズエレクトロニクスを備えており、わずか0。9秒で高品質のデータを取得できます。このマシンは、包括的なプロセス制御を提供する直感的なユーザーインターフェイスを統合しており、ユーザーは複雑なレシピを簡単に設定および監視できます。また、高度な分析と自動化されたプロセス制御が組み込まれており、欠陥の迅速かつ正確な診断、および欠陥の修正と削減のための自動化されたアクションを可能にします。このツールは、ウェーハの上面と下面の両方を同時に分析することができ、ユーザーに表面地形の詳細なビューを提供します。TENCOR 6220 Surfscanは、半導体業界の要求に応えるために必要な精度と信頼性を提供する費用対効果の高いソリューションです。生産環境と研究開発環境の両方において、多目的で正確で信頼性の高いウェーハ表面試験と計測を提供し、高度な半導体製造および開発業務にとって非常に貴重な資産です。