中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9158312 を販売中

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ID: 9158312
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Particle inspection system, 8" Missing scan motor 2006 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、ハイスループットデータ取得、画像形成、自動解析を組み合わせた最先端のウェーハ試験および計測機器で、半導体ウェーハの品質を迅速に評価します。このシステムは、設計と製品開発に多くの時間を費やすことができるように、リソースとリソースを解放し、生産ラインから推測を取り出すように特別に設計されています。Surfscan 6220は、生産ラインにとって非常に貴重な資産である自動フロントエンドローディング(FRL)ハードウェアを備えています。これにより、ユニットはウェーハをシングルハンドルで識別してロードし、イメージングとテストに素早く向けることができます。これにより、最大12秒間の速度でウェーハをマシンに供給することが可能になり、スループットが大幅に向上します。Surfscan 6220の画像形成は、特許取得済みのマイクロ波イメージングツールを介して行われます。これにより、ウェーハの地形を取得し、最大1。5ミクロンのコア分解能でリアルタイム画像を生成することができます。これにより、製造工程で見落とされる可能性のある表面の微細な欠陥を容易に検出できます。また、Surfscan 6220には、半導体ウェーハを扱うために特別に設計された高度な計測機能も搭載されています。平坦度、反り、高さ、臨界寸法、エッチング深さなど、すべてをリアルタイムで正確に測定および監視できます。これにより、生産ラインのプロセスバリエーションや異常をほぼ瞬時に検出できるため、生産結果が大幅に改善されます。さらに、Surfscan 6220には強力な分析ソフトウェアが搭載されており、データのハード分析と解釈がはるかに簡単で高速になります。この機能により、機器からのデータ出力に基づいて瞬時に意思決定を行うことが可能になり、正確かつタイムリーな意思決定が可能になります。全体として、KLA 6220 Surfscanは、強力な自動化とデータ収集機能により、ウェーハの精度を大幅に向上させることができます。このシステムは、最新の生産ラインにとって非常に貴重であり、オペレーションの合理化とウェーハの品質向上を確実に支援します。
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