中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9149402 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体ウェーハの高分解能表面解析を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大200mmのサイズ範囲で、半導体ウェーハの構造をテスト、特性評価、理解するための汎用性の高いツールです。その中核となるKLA 6220 Surfscanは、半導体ウェーハの表面地形図のための高解像度光学イメージングを提供する高度な自動エピフルオレッセンス顕微鏡を備えています。ミクロンレベル以下の特徴を1um以上の分解能で測定することができます。さらに、このユニットには2次元直交スキャン機が装備されており、表面フィーチャーと計測の正確な測定と特性評価に役立ちます。6220は、光学系とコントローラという2つの主要コンポーネントで構成されています。光学系は、個人がウェーハの画像をキャプチャすることを可能にする主要なコンポーネントです。epifluorescence顕微鏡、objecitves、レンズ、ビームスプリッティングミラー、サンプルフォーカスステージ、蛍光フィルターなどのコンポーネントが含まれています。この光学系は、1ミクロン以下から10ミクロン以上のレベルまでの特徴を測定および分析することができます。コントローラは顕微鏡の機能を制御するツールの二次コンポーネントです。ウェーハ機能の分析と特性評価を行うためのソフトウェアや、データ収集サブシステムが含まれています。ソフトウェアは、簡単に表面の特徴を識別し、分析することができます高度な画像処理アルゴリズムを備えています。さらに、オートコントラストや明るさ設定、手動イメージオーバーレイ機能など、さまざまなコントロールを提供します。さらに、包括的なオンボード診断プログラムも含まれています。TENCOR 6220 Surfscanは、半導体ウェーハの信頼性の高い正確な表面解析を必要とする人にとって理想的なツールです。ユーザーは、迅速かつ直感的なソフトウェアをサポートして、細かいレベルで機能を観察、測定、特性評価することができます。最終的に、このアセットを使用すると、半導体ウェーハの構造を迅速かつ正確に調査することができ、プロセスと製品歩留まりの最適化につながります。