中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9137178 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、非破壊検査および表面地形特性評価に使用されるウェハテストおよび計測機器です。300mmウェーハ用に設計されており、複数のウェーハを並列に検査できます。このシステムは、非常に低い表面高と非常に高い表面高の両方を測定することができます。それは速く、信頼でき、正確、および品質保証およびプロセス開発の適用のために理想的です。ユニットの中心には、KLA独自のBIB （Burst Illumination Brightfield）技術があります。これは、有用なデータが必要なときにサンプルウェーハを貫通する光のバーストに小さなLEDの配列を使用します。散乱の強度は、ウェーハ表面の各点で正確に測定することができます。その結果、以前の検査システムの数倍の解像度が得られます。6220マシンは、機能性を高めるために、他の多くの機能が装備されています。2つのデジタルカメラを搭載しており、スキャンウエハの視覚的な画像を提供します。また、二軸ウェーハステージを備えており、複雑な測定のために最大9方向にウェーハを正確に配置できます。さまざまな測定のための多くのタイプの自動ルーチンをプログラムし、ツールで実行することができます。ウェーハ間の高速比較とダイダイ比較を可能にするために、このアセットは、BISマッピング、粒子密度測定、サブピクセル欠陥分類など、複数の画像解析アルゴリズムをサポートしています。これらの画像解析アルゴリズムにより、単一の測定で複数のダイ部位のデータを自動測定または比較できます。全体として、KLA 6220 Surfscanは信頼性が高く強力なウェーハ試験および計測モデルであり、歩留まりやプロセス強化など、さまざまなウェーハ処理および計測アプリケーションに適しています。半導体業界における品質保証やプロセス開発に不可欠なツールです。