中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9103712 を販売中
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KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、さまざまな基板材料の正確で正確な欠陥検出および分析を目的としたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、200mm、 300mm、より大きな直径のウェーハを検査することができ、さまざまなウェーハエッジとトポグラフィーのタイプをイメージすることができます。このユニットは、高度な光学系と円形スキャンパスを使用して、3Dイメージング機能を備えたフルレンジの2Dサーフェス画像を生成します。このマシンは、ウェーハ材料および微細構造の非表示の欠陥を検出することができ、メーカーは潜在的な問題を特定し、是正措置を開始することができます。このツールは、高度な画像認識および解析アルゴリズムを使用して、欠陥を正確に検出および特性評価します。本アセットには、デジタルカメラと高度な解析ソフトウェアが搭載されており、詳細な欠陥の検査と分析のための高解像度画像を提供します。KLA 6220 Surfscanには高度なオートフォーカス、エッジ検出、オブジェクト検出機能が搭載されており、デバイスの登録、アウトライン、オーバーレイ、クリティカルな寸法を正確かつ繰り返し測定できます。このモデルは、生産量を最大化するために必要なプロセスと設計変更を行うために必要な情報をメーカーに提供し、結果の簡単なレビューと包括的なレポートを可能にします。この装置は非常に高いスループットを実現し、生産性を向上させ、サイクルタイムを短縮しながら、優れた性能と精度を実現します。このシステムは、ウェーハプロファイル全体をモデル化し、1〜20 GHzの周波数範囲でプロファイリングするなど、さまざまな機能をユーザーに提供し、精度、検査速度、欠陥カバレッジの比類のない組み合わせを提供します。TENCOR 6220 Surfscanは強力なウェハテストおよび計測ユニットであり、今日の半導体産業の成功にとって重要な製造プロセスの不可欠な部分です。それは他の機械が一致させることができない精密、速度および正確さを提供し、増加する半導体市場の要求に応じるように設計されています。
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