中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9084445 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体デバイス製造のための強力で洗練されたウェーハ試験および計測機器です。これは、データ豊富なイメージング、検査、および計測機能のフルレンジを提供することができます。KLA 6220 Surfscanは、光学、電気、および音響検査機能の多目的な組み合わせを提供します。プロトタイプから生産、ポストテストまで、生産のすべての段階で幅広いサンプルタイプをサポートしています。TENCOR 6220 Surfscanシステムは、エンドツーエンドのプロセス制御、フェイル検出による歩留まり損失の防止、および品質最適化のために設計されています。高感度、正確な位置決め、多様なプロービング機能を備えています。統合されたイメージング機能により、ウェーハレベルでさまざまな材料を完全に視覚的に収集し、正確に認識できます。このユニットは、25nmの薄さの層を検査し、プロセス制御を駆動するための重要なデータを提供することができます。6220 Surfscanには、スキャンと計測の両方に対応する高精度ハードウェアが装備されています。低角度光検出用に最適化された自動化されたツールと、高角度画像処理のための光学顕微鏡を使用しています。さらに、微小およびナノスケールの材料や欠陥を分析するために音響顕微鏡を使用することができます。このツールは、自動化されたスループットのための超高速スキャンおよびウェーハ識別、ならびに幅広いデータ分析およびレポート機能を備えています。KLA/TENCOR 6220 Surfscanはまた、エラー訂正および訂正スキームのための非常に反復可能な測定と機能を備えた、マニュアルおよび自動テスト機能の包括的なスイートを提供します。柔軟なアーキテクチャにより、特定のサイトおよびプロセス要件を満たすカスタムオプションを追加できます。KLA 6220 Surfscanは、幅広い用途や環境要件を満たすように設計されており、製造環境に統合したり、ウェハや部品の分類のために単独で操作することができます。具体的には、マイクロエレクトロニクスおよび関連業界向けに正確で信頼性の高い検査結果とプロセス最適化を提供するように設計されています。このアセットは、48種類のウエハサイズ（最大8インチ）をサポートし、お客様固有のプロセスのニーズに合わせて構成されており、幅広いオプションから選択できます。さらに、このモデルは、世界クラスのテクニカルサポートとサポートサービスに支えられています。