中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9070113 を販売中

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ID: 9070113
Wafer inspection systems.
KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、さまざまな半導体ウェーハを検査・測定し、着実かつ迅速に死ぬことができる最先端のウェーハ試験および計測機器です。そのコンポーネントには、光源、2台のカメラ、コンピュータシステム、および可変圧力ヘッドが含まれます。このユニットは、ナノサイズの汚染粒子と欠陥を見事な精度で識別するように設計されており、ウェハの均一性と品質についての洞察を与えています。KLA 6220サーフスキャンは、高出力の光源を使用してウェーハを照らし、検査のために表面の2次元画像を表示します。その後、2台の高解像度カメラと洗練された光学系を使用してウェーハをスキャンします。これにより、コンピュータツールはウェーハの地図を分析して作成し、その地形を強調表示することができます。このアセットを使用すると、ユーザーはサーフェスプロファイリングと測定の対象領域を選択できます。これらの領域に関するデータは、コンピュータのディスプレイ上でリアルタイムで見ることができます。このモデルはまた、可変圧力ヘッドを備えており、イメージングが行われる前にサンプル表面と光学部間の均一な接触を提供するために利用されます。これにより、TENCOR 6220 Surfscanは、サンプル、照明、および検出器の応答の違いを補正し、ファクタリングしながら、急速に変化する地形特性を検出できます。6220サーフスキャンは、平均粗さ、表面積、傾斜など、いくつかの重要なパラメータを測定できます。この装置は、1回のセッションで複数の検査を行うこともでき、検査プロセスに費やす時間を大幅に削減します。ユーザーインターフェイスは使いやすさのために設計されており、ユーザーは障害を迅速かつ簡単に見つけて識別することができます。結論として、KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、地形、さまざまなパラメータ、均一性など、ウェーハの特性を包括的に把握できる包括的なウェーハ試験および計測システムです。その頑丈な設計と先進的な機能により、半導体ウェーハの検査と測定のための貴重で効率的なツールとなります。
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