中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9052288 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、ウェーハの試験および計測に使用される非接触の自動光学ツールです。この装置は、前任の6200サーフスキャンで採用されている実績のある光学技術と高度な画像処理アルゴリズムを組み合わせて、表面地形を高精度に測定します。これには、表面粗さ、ステップとギャップの高さ、テーパ角度などの表面プロファイルのパラメータの測定が含まれます。KLA 6220 Surfscanには、レーザープロファイラ、4軸電動ウェーハステージ、CCDカメラを搭載した自動顕微鏡が装備されています。システムが臨界寸法計測に使用されると、プロファイラはウェーハの表面をレーザー光でスキャンして輪郭を測定します。顕微鏡と電動ステージがウェーハを横切って移動し、ウェーハの3D形状をキャプチャします。このデータは、デバイスの重要な寸法を測定し、その表面上の粒子や地形の欠陥を特定するために使用されます。TENCOR 6220 Surfscanには、ウェーハテストと計測のための貴重なツールとなる多くの機能があります。自動化されたプロセスにより、大規模なウエハとデバイス分析を同時に行うことができます。強力な画像処理ユニットを備えており、さまざまな種類の検査ジョブにカスタマイズ可能なワークフローを備えています。また、このマシンはドリフトスキャンアルゴリズムを備えており、振動と温度の変化を自動的に補償し、測定の精度に影響を与えます。このツールは、欠陥検出および解析、ウェーハクリティカル寸法（WCD）測定、ウェーハトポグラフィ測定など、さまざまなウェーハテストおよび計測アプリケーションに使用できます。6220サーフスキャンアセットは、数ナノメートルから数ミクロンの粒子をさまざまなウェーハやウェーハ材料で検出することができます。MEMSやその他のナノエレクトロニクスデバイスの重要寸法の測定に最適です。KLA/TENCOR 6220サーフスキャンは、強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測モデルです。高精度の光学測定技術、高度な画像処理アルゴリズム、自動化されたプロセスを組み合わせて、さまざまなウェーハ試験および計測アプリケーションに最適なツールにします。表面プロファイルパラメータを正確に測定し、さまざまなウエハや材料タイプの粒子欠陥を検出することができ、ナノエレクトロニクス機器の製造に不可欠なツールです。