中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9003557 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体ウェーハの表面を検査するために設計されたウェーハ試験および計測機器の最新バージョンです。このシステムは、高速で高解像度のイメージングおよび測定ユニットを使用して、欠陥を検出し、均一性を確保し、重要な特徴パラメータを測定します。このマシンは既存の計測機器から適合しており、高精度を維持しながら信頼性を向上させ、コストを削減する機能が追加されています。このイメージングツールは、3次元（3D）イメージングの最新の進歩を利用して、ブライトフィールドとダークフィールドの両方のモードでウェーハの表面の高速で詳細な画像をキャプチャします。また、正確な測定を使用して欠陥を識別し、1ナノメートル以上の許容差があります。また、このアセットは自動キャリブレーションとアライメントを提供し、ウェーハの位置合わせと安定性を確保しながら表面特性を測定します。また、さまざまな調整可能なパラメーターを提供しているため、さまざまなアプリケーションのイメージングおよび測定機能を最適化できます。このモデルはまた、ユーザーがテスト手順をカスタマイズすることを可能にする洗練されたソフトウェアとインタラクティブな機能を提供します。制御プログラムを使用すると、露光時間、光学フィルター、focusModeをプリセットして、理想的な測定結果を得ることができます。ユーザーは画像を分析して、傷、ピッティング、スリップステッチなどの特定の欠陥を識別することもできます。さらに、Surfscan 6220には、手動非接触プロファイル用の特別なソフトウェアモジュールが含まれており、ビジュアル形式またはスプレッドシート形式の結果の処理を自動化します。このモジュールには高密度の欠陥マップ機能も含まれており、ユーザーはウェーハ上の欠陥フィーチャーをすばやく識別してサイズを設定できます。KLA 6220 Surfscanは、ウェーハ製造プロセスが正確で信頼性の高い結果をもたらすことを保証するために、最新の技術で設計されています。その高度なイメージングと測定機能、インタラクティブな機能、洗練されたソフトウェアは、それを競争の上位に置きます。