中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408 を販売中

KLA/TENCOR 6220サーフスキャンは、最新のウェーハ試験および計測機器です。欠陥レビュー、リソグラフィ/エッチング監視、フィルム測定、オーバーレイ検査など、幅広い用途向けに設計されています。最新のモーション・イメージング・システムを搭載し、高精度・高精度を実現しています。KLA 6220 Surfscanは、高速6軸スキャンプラットフォームを備えており、クアッドレベルのDSP制御により、ウエハステージを超精密に動作させます。高速スキャンと幅広い動作機能により、優れた再現性の高いスキャンを実現し、歩留まり検証を向上させます。このユニットには、高解像度カラーカメラの選択を含むKLAの高度なイメージング機能が組み込まれており、それぞれが独自の視野を持っています。機械は0。25micron CDの正確さの6 ″ 10milのディーパッドまで点検でき、2ミクロンまで欠陥のサイズおよび形の異常を検出できます。このツールはまた、高解像度のレーザービーム偏向と見事な20 μ mの解像度でスキャンラインプロファイリングをサポートしています。このアセットは、Active Area Scans （AAS）を統合して、高解像度の歩留まりデータ、ダブルパターニング、3D欠陥情報を明らかにし、自動光学検査（AOI）の広範な機能を備えています。また、Leading Edge Diffraction （LED）、化学同定およびイメージング、イメージングなしの化学同一化（CIWI）、重要なCDや3Dバー構造の重要な機能の計測機能も組み込まれています。TENCOR 6220 Surfscanモデルは、柔軟性とプロセスの均一性を向上させるためにモジュール式でユーザー設定可能です。フラットパネルディスプレイ、自動環境制御、SPCオープンアーキテクチャ、カスタマイズされたソリューション、データ分析ソリューションなど、さまざまな適応可能なハードウェアとソフトウェアオプションを備えています。6220 Surfscanは、プロセス制御を改善し、多種多様な半導体寸法、欠陥レベル、プロセスパラメータを検査するのに役立ちます。チップの品質を維持し、デバイスのライフサイクルを拡張するための信頼性と費用対効果の高い方法です。