中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。シリコン、ヒ素ガリウム、化合物半導体など、さまざまなウエハータイプの電気的・物理的特性を測定することができます。このシステムは、プロセスを介してウェーハを移動するために使用されるウェーハ処理ハードウェアと、ウェーハ表面の欠陥の検出、特性評価、測定に使用される光学イメージングユニットで構成されています。光学機械は、ウェーハの画像をキャプチャする画像キャプチャツールと、画像を分析する計測アセットで構成されています。画像は、粒子、ピット、ステップなどのアーティファクトと欠陥について評価されます。また、フィーチャーエッジやフィーチャーサイズなどの機能も測定できます。このモデルは、200mmウェーハで100nmまでの機能を検出および測定することができ、主にデバイスプロセスの開発およびプロセス監視に使用されます。この機器は高度に構成可能で、スキャナとアナライザの両方の構成、ならびに複数の自動カーネルと欠陥認識および解析用のデータベースのオプションを備えています。さらに、このシステムは、ユーザーにさまざまなプロセス要件に合わせて自動アルゴリズムをカスタマイズする機能を提供します。KLA 6220 Surfscanは、高精度と解像度、柔軟な操作、効率的なオートメーション、信頼性の高い測定など、ユーザーにいくつかの利点を提供します。このユニットは手動および自動化された操作モードで動作し、二重指数ステップやバイナリファイルなどの標準フォーマットで測定を行うことができます。このマシンには、自動スタッキング、表面フィーチャー識別、自動欠陥分類、自動欠陥検査など、効率的かつ最小限のユーザー介入で実行できるいくつかの自動機能もあります。結論として、TENCOR 6220 Surfscanは、幅広い種類のウェハタイプで正確で信頼性の高い測定を提供できる高度なウェハテストおよび計測ツールです。この資産は高度に構成可能で自動化されているため、半導体業界のプロセス開発とプロセス監視に最適です。