中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #193077 を販売中

KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、高度な半導体研究および集積回路製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高速、広範囲、および詳細な分析機能を提供するウェーハテストシステムの62XXファミリの一部です。KLA 6220サーフスキャンユニットは、高感度レーザー散乱測定、最大1500枚のウェハイメージ/秒、および10nm解像度を備えています。このマシンは、ウェーハ機能の正確なテストを行うために、標準的なフォトリフレクタンス（PR）および3D計測（3D）レーザーを使用するように構成されています。具体的には、TENCOR 6220サーフスキャンツールは、制御された光源の反射を異なる角度で測定することで、ウェーハの地形や表面粗さを分析することができます。これにより、トレンチ、コンタクト、ビア、その他の構造だけでなく、単層または多層の誘電体構造などのさまざまな機能を測定することができます。このアセットは、高度なレーザー干渉計と独自の3Dデュアルセンサ設計を採用しており、正確な位置合わせとパラメータ評価のための高速ナノメートルレベル測定を可能にします。さらに、ウェーハプロファイリング、欠陥解析、プロセス監視、輪郭マッピングのための高度なWebベースのソフトウェアを提供します。この強力なソフトウェアを使用すると、ウェーハトポグラフィを分析して視覚化したり、欠陥を検出したり、精度測定を簡単に行うことができます。ソフトウェアはまた、自動化されたデータ収集および分析機能を提供することにより、レポート生成プロセスを支援します。さらに、6220 Surfscan機器は、プロセス異常の検出を改善するための同様の機能のクラスタリングを可能にします。KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、ユーザーを念頭に設計された高度なウェーハテストおよび計測システムです。ウェーハ機能の高精度かつ高速なレーザー解析を提供し、正確な欠陥識別とプロセス監視を可能にします。このユニットのWebベースのソフトウェアは、レポート生成プロセスを支援し、自動化されたデータ収集と分析機能を提供します。KLA 6220 Surfscanは、半導体業界の厳しいニーズに応える最先端の技術と高度なモニタリングソリューションを提供するというKLAのコミットメントの一例です。